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氢氟酸

作者: 来源: 日期:2016/4/19 15:13:35 人气:1254
项目单位UP级规格EL级规格
含量%49.0~50.049.0~50.0
外观-澄清无色澄清无色
灼烧残渣(以硫酸盐计)ppm-≤5
颗粒(≥0.5um)个/ml≤25-
颗粒(≥0.3um)个/ml≤150-
颗粒(≥0.2um)个/ml≤300-
颗粒(≥1.0um)个/ml-≤25
氟硅酸H2SiF6ppm≤100≤200
氯化物(Cl)ppb≤2000≤2000
硝酸盐(NO3 )ppb≤3000≤3000
磷酸盐(PO4 )ppb≤1000≤1000
硫酸盐和亚硫酸盐(SO4)ppb≤2000≤3000
铝(Al)ppb≤10≤20
锑(Sb)ppb≤15≤30
砷(As)ppb≤15≤30
钡(Ba)ppb≤10-
铍(Be)ppb≤5-
铋(Bi)ppb≤5-
硼(B)ppb≤10≤50
镉(Cd)ppb≤10-
钙(Ca)ppb≤10≤50
铬(Cr)ppb≤10≤10
钴(Co)ppb--
铜(Cu)ppb≤10≤20
镓(Ga)ppb≤10-
锗(Ge)ppb≤10-
金(Au)ppb≤10-
铁(Fe)ppb≤10≤100
铅(Pb)ppb≤10≤20
锂(Li)ppb≤5-
镁(Mg)ppb≤10≤20
锰(Mn)ppb≤10≤20
钼(Mo)ppb≤10-
镍(Ni)ppb≤10≤20
铌(Nb)ppb--
钾(K)ppb≤10≤50
银(Ag)ppb≤5-
钠(Na)ppb≤10≤80
锶(Sr)ppb≤10-
钽(Ta)ppb≤10-
铊(Tl)ppb≤10-
钛(Ti)ppb≤10≤20
锡(Sn)ppb≤10≤20
钒(V)ppb≤10----
锌(Zn)ppb≤10≤20
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