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电子级氢氟酸的质量标准及用途

作者: 来源: 日期:2016/5/12 9:54:05 人气:1900

       一、质量标准:目前,因各微电子生产企业对电子级氢氟酸要求的标准不同,可将其划分为四个档次:1、低档产品,用于>1.2μmIC工艺技术的制作;2、中低档产品,适用于0.8~1.2μmIC工艺技术的制作;3、中高档产品,适用于0.2~0.6μmic工艺技术的制作;4、高档产品(UPss),适用于0.09~0.2μm和<0.09μm IC工艺技术的制作。

      二、用途: 产品主要用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VISI)制造中,电子级氢氟酸是关键辅助材料之一,主要用于晶圆表面清洗、芯片加工过程中的清洗和蚀刻等工序。在太阳能光伏行业中,用于硅片表面清洗、蚀剂等邻域。硅锭到硅片,再到电池片的第一道工艺程序,清洗制绒环节会用到产品。在液晶显示器行业,用于玻璃基板清洗、二氧化硅蚀剂等。在TFT-LCD、半导体产业中也被广泛使用。还可用作分析试剂。原子能工业化学试剂盒制备高纯度的含氟化学品。目前,在国内基本上是作为蚀刻剂用于微电子行业,其他方面用量较少。

       三、行业发展:自中国实现无水氢氟酸的工业化生产以后,为中国进入高纯电子级氢氟酸提供了原料保障,以多氟多、巨化集团为首的行业领军企业带领中国氟化工进入了新的历史时代。  

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